In-process control system in semiconductor production line.
نویسندگان
چکیده
منابع مشابه
emittance control in high power linacs
چکیده این پایان نامه به بررسی اثر سیم پیچ مغناطیسی و کاوه یِ خوشه گر با بسامد رادیویی بر هاله و بیرونگراییِ باریکه هایِ پیوسته و خوشه ایِ ذرات باردار در شتابدهنده های خطیِ یونی، پروتونی با جریان بالا می پردازد و راه حل هایی برای بهینه نگهداشتن این کمیتها ارایه می دهد. بیرونگرایی یکی از کمیتهای اساسی باریکه هایِ ذرات باردار در شتابدهنده ها است که تاثیر قابل توجهی بر قیمت، هزینه و کاراییِ هر شتابدهند...
Process Monitoring and Control of Semiconductor Production Tools Using JMP®
This paper will present data manipulation and statistical analysis across multiple database types and architectures using JMP. These methodologies generate advanced statistical process control strategies to detect and rectify semiconductor production tool deterioration. Examples of data analysis and presentation via JMP will be used to highlight the importance of comprehendible statistical anal...
متن کاملIn-situ Process Control for Semiconductor Manufacturing
There is a critical need for exact, real-time reaction control of the chemical vapor deposition (CVD) systems that are used for semiconductor device manufacture [1]. At present, the development of real-time control for reactions within production-style reactor configurations is hampered by a number of issues: The nature, concentrations and physical distributions of the chemical species within t...
متن کاملIn-line Atomic Force Microscope for Semiconductor Process Evaluation
OVERVIEW: To support the coming ubiquitous information society from the bottom up, semiconductor devices must be capable of high-speed processing and low-power consumption. A device structure that satisfies these performance requirements will have to have higher levels of integration as device miniaturization progresses, be capable of high-step-height processing due to multilevel structures, an...
متن کاملsynthesis of platinum nanostructures in two phase system
چکیده پلاتین، فلزی نجیب، پایدار و گران قیمت با خاصیت کاتالیزوری زیاد است که کاربرد های صنعتی فراوانی دارد. کمپلکس های پلاتین(ii) به عنوان دارو های ضد سرطان شناخته شدند و در شیمی درمانی بیماران سرطانی کاربرد دارند. خاصیت کاتالیزوری و عملکرد گزینشی پلاتین مستقیماً به اندازه و- شکل ماده ی پلاتینی بستگی دارد. بعضی از نانو ذرات فلزی در سطح مشترک مایع- مایع سنتز شده اند، اما نانو ساختار های پلاتین ب...
ذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: Journal of the Japan Society for Precision Engineering
سال: 1988
ISSN: 1882-675X,0912-0289
DOI: 10.2493/jjspe.54.655